Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.884.1я723/Б 82 Автор(ы) : Борисенко, Александр Сергеевич, Бавыкин, Николай Иванович Заглавие : Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : учебник для ССУЗов Выходные данные : Москва: Машиностроение, 1983 Колич.характеристики :319 с Цена : 1.00, 1.00, р. ББК : 32.884.1я723 Предметные рубрики: Техника. Технические науки-- Радиоэлектроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы--микроэлектроника--промышленное производство--развитие микроэлектроники Экземпляры :ЦБ(1) Свободны : ЦБ(1) Доп.точки доступа: Бавыкин, Николай Иванович